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            干式真空泵是怎樣定義與分類的?

            發布時間:2018-10-20 10:53:52      發布人:伊斯格機械   瀏覽量:1826

            引導語:干式真空泵很早就呈現了,但沒有清晰的界說。就替代油封式機械泵來說,一般通用的說法是: 能在大氣壓到10-2Pa 的壓力范圍內作業;在泵的抽氣流道(如泵腔)中,不能運用任何油類和液體、排氣口與大氣相通,能接連向大氣中排氣的泵, 即稱為干式真空泵(也稱為無油真空泵)。

            干式真空泵的分類

            現在市場上供給的干式泵品種許多。就其基本原理來分, 只要兩類, 即:

            ① 容積式的無油真空泵, 例如多級羅茨泵、爪型泵、往復式活塞泵、螺桿式泵和渦旋式泵等。這種干式泵的極限壓力一般為0.1~10Pa, 抽速為0.01~ 0.04m 3?s。

            ZBW...B干式真空.JPG

            ② 動量傳輸式的無油真空泵,如渦輪式無油泵。排氣側與大氣相接, 在接連流狀態下壓縮比較高。它是一種粗抽泵, 可從大氣壓抽到1022Pa。在結構上選用徑向流和周向流泵的復合式結構,多級串聯抽氣。這種渦輪式泵的極限壓力約為10-2Pa, 抽速為0.02~0.15m 3?s。牽引型干式泵也歸于動量傳輸式的干式泵。

            這些干式泵和油封式機械泵比較, 到達相同的極限壓力, 其剩余氣體成分則全然不同,經剖析成果明, 油封泵的剩余氣體, CnHm 氣體(碳氫化合物氣體)為其主要成分, 而干式泵的剩余氣體為空氣的組成成分。這就證明了干式泵的抽氣不再有油的污染了。

            TPL...V干式真空.jpg

            有些干式泵在結構設計上, 如泵的傳動齒輪和軸承等仍在運用潤滑油, 也有用組成油, 如PFPE 油和其油脂等,并采納必定的辦法使油蒸汽在泵腔內不存在, 嚴格來說不是全無油的泵, 但經剖析, 這種組成油的成分在泵入口處是微乎其微的,并無影響。

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